废气处理一般会根据废气的种类，废气中的主要物质组成进行预处理和深度处理两个步骤。

针对含有颗粒物的可以加入干式过滤器对颗粒物进行有效的去除；针对一般颗粒物和粉尘采用预电荷极板吸附或者旋风分离技术将废气中的颗粒物和粉尘进行分离；针对分子链较长的有机物可以采用活化洗涤将长分子链打短，方便后续深度处理；针对酸碱性气体一般采用碱/酸洗将废气中的酸碱性气体进行中和吸收。

后续深度处理可根据有回收利用价值的物质进行深冷回收或者活性炭/活性炭纤维吸附蒸汽/氮气脱附技术对可回收利用的物质进行资源化处理。对于无回收利用价值的物质采用无害化深度处理。一般会根据废气中有机物的浓度和废气主要成分采用活性生物反应设备、低温等离子设备、光氧催化设备、微波谐振设备、催化燃烧设备（RCO）、蓄热燃烧设备（RTO）对废气进行无害化处理，最后达标后排放。